由于对纯化水设备出水水质要求比较高，所以超纯水设备内有多重水处理装置，这些装置保证出水水质经得起检查，保证符合国家规定的卫生标准。纯化水设备的预处理装置是该设备中比较重要的一部分。本文简单介绍对预处理装置的要求。

　　1、纯化水的预处理装置可根据原水水质情况配备，要求先达到饮用水标准。

　　2、多介质过滤器能自动反冲、再生、排放。

　　3、活性碳过滤器为有机物集中地，为防止细菌、细菌内毒素的污染，除要求能自动反冲外，还可用蒸汽消毒。

　　4、由于紫外线激发的255nm波长的光强与时间成反比，要求有记录时间的仪表和光强度仪表，其浸水部分采用 316L 不锈钢，石英灯罩应可拆卸。

　　5、通过混合床去离子器后的纯化水必须循环，使水质稳定。